电子级盐 酸生产方法与流程

背景技术：

盐 酸是氯化氢(hcl)气体的水溶液。浓盐 酸具有极强挥发性，在空气中发烟，有强腐蚀性。盐 酸作为重要的强酸之一，它能与很多金属反应，使金属溶解，常用于大规模集成电路制造行业，比如用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀、清洗钠离子，还可以用于金属表面化学处理等，是电子行业重要试剂之一。

制备方法：

S1：预先将工业级盐 酸使用微通道进行一级过滤,过滤通道尺寸为0.8um,然后在过滤后的工业级盐 酸中加入还原剂进行预处理,还原剂的添加量为盐 酸重量的1%,循环搅拌1h,还原剂为氧化亚锡,得到初级盐 酸。

S2：将初级盐 酸输送至精馏塔进行精馏处理,精馏塔使用硼硅玻璃材质,精馏塔内设有聚四氟乙烯填料,得到气相氣化氢,然后将气相氣化氢依次经过浓硫 酸脱水、除雾处理,使得气相氣化氢中水分降至5ppm,然后将气相氣化氢进行冷凝处理,冷凝水温度为4℃得到盐 酸半成品。

S3：将盐 酸半成品使用超纯水循环吸收氣化氢尾气,生成的吸收液排出处理,然后将处理过的盐 酸半成品使用微通道进行二次过滤,过滤通道尺寸为0.08um,去除杂质,制得质量分数为37%的电子级盐 酸。