高纯电子级丙酮应用范围
电子级丙酮的主要用途是芯片、磁头等精密电子元器件的清洗和干燥。
电子级丙酮,其纯度达到99.99%,在电子工业中扮演着至关重要的角色。它的主要应用包括:
清洗和干燥:在芯片制造过程中,电子级丙酮被用作清洗剂,用于去除硅片上的各种沾污杂质。这些杂质包括颗粒、有机物、金属和自然氧化层等,它们的存在可能会危害芯片的良品率及电性能。清洗工艺是芯片制造过程中的一个关键环节,几乎每一步加工过程都需要进行清洗,以确保芯片的质量和性能。
去除光刻胶:在芯片制造中,光刻胶是一种重要的材料,用于在硅片上形成图案。电子级丙酮可以帮助去除未曝光的光刻胶,这是芯片制造过程中的一个重要步骤。
提高芯片良率:通过使用高品质、低杂质的电子级丙酮进行清洗,可以提高芯片的良率。在先进的芯片制程中,随着制程的缩小,对芯片制造的控污要求越来越高,因此使用高品质的清洗剂成为确保芯片制造成功的关键因素。
此外,电子级丙酮还用于湿法工艺中,通过与晶圆表面的各种杂质发生化学反应后生成溶于水的物质,Zui后用高纯水冲洗去除,以达到晶圆表面的洁净度与平滑度要求。这种工艺在达到晶圆洁净度方面明显优于干法工艺,对于提高芯片质量具有重要意义
发布时间:2024-11-23
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